硅片抗弯强度测试验机测试原理
适用范围:
木标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片(简称硅片)的杭弯强度测试方法。
本标准适用于晶向为<X11>和<1}>的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250-900um
依据标准:
GB1 2964硅单晶抛光片
GB 12965硅单晶切割片和研磨片
常用术语:
抗弯强度
试样破碎时的比较大弯曲应力,对脆性材料通常是凸表面比较大径向张应力,表征抗破碎的性能。
小挠度--圆片受到中心载荷弯曲时,圆片中心面弯曲前后的比较大位移与圆片厚度比为小量。
方法原理:
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